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2021-3-23 12:31:57
作为半导体制造与先进晶圆级封装领域中的卓越装备供应商，，，南宫NG28半导体装备今日宣布，，，为其一直生长的300mm Ultra Fn立式炉干法工艺装备产品系列，，，增添了以下半导体制造工艺：非掺杂的多晶硅沉积、掺杂的多晶硅沉积、栅极氧化物沉积、高温氧化和高温退火。。。南宫NG28将于3月17日至19日在上海新国际博览中心举行的SEMICON China 2021的3659号展位上展示这些手艺。。。
南宫NG28先前已宣布了应用于氧化物、氮化硅（SiN）低压化学气相沉积（LPCVD）和合金退火工艺功效的立式炉系统，，，基于该可设置的立式炉平台，，，南宫NG28开发了上述新功效。。。支持这些新应用的立式炉装备现已交付或预计陆续于2021年上半年内交付到客户端。。。
“南宫NG28战略始终是找到半导体制造行业中具有高增添潜力的市场和应用，，，并且与南宫NG28客户相助，，，开发出先进手艺来解决这些问题。。。”南宫NG28半导体装备董事长王晖体现：“现在，，，我们能够举行80％以上的批式热工艺，，，包括用于SiN，，，HTO的LPCVD工艺，，，非掺杂多晶硅和掺杂多晶硅沉积，，，栅极氧化物沉积工艺，，，高达1200摄氏度的超高温氧化和退火工艺。。。 这一新产品线的迅速导入，，，也进一步证实晰我们与焦点客户相助战略的乐成。。。"
随着半导体器件体积的一直缩小和重漂后的增添，，，Ultra Fn系统的设计始终是为了追求知足客户需求的更佳解决计划。。。当今的器件设计的高重漂后、细小几何尺寸，，，对热工艺的温度控制的均一性与稳固性提出了高要求，，，这对晶圆良率至关主要。。。为了知足这些要求，，，Ultra Fn加热器开发了控制算法，，，使该平台具有稳固的温度控制性能。。。
南宫NG28对其可无邪设置的Ultra Fn装备举行了功效扩展，，，仅对部分？？ ？楹徒峁咕傩辛艘恍└募纯墒视糜谡庑┬鹿ひ沼τ。。。该可设置的系统设计，，，与南宫NG28现有的氧化物、氮化物沉积系统大部分硬件可通用，，，从而降低了总本钱。。。 该系统可便捷地替换组件，，，以实现差别客户的定制化工艺需求。。。
南宫NG28的第一台SiN LPCVD已于2020年头交付给一家主要的逻辑制造客户，，，并在该工厂举行了大规模量产验证。。。 同时，，，另一台微托级超高真空功效的合金退火工艺立式炉装备已于2020年底交付给一家功率器件制造客户，，，并已完成生产能力的验证。。。而此次宣布的其他新功效的装备也陆续最先在客户端举行测试，，，预计在2021年内取得验证效果。。。
